เครือข่ายความร่วมมือแหล่งสารสนเทศกับสำนักวิทยบริการ
มหาวิทยาลัยมหาสารคาม (Colib.msu.ac.th)
เปลี่ยนเป็นภาษาไทย

Change to English
 แสดงรายละเอียดบรรณานุกรม
  กลับหน้าหลัก

QR code กลับ
  Identifier 609
  ชื่อเรื่อง THE EFFECT OF ANNEALING ON THE PROPERTIES OF ZNO:AL FILMS GROWN BY RF MAGNETRON SPUTTERING
  ผู้สร้างผลงาน Rahmane, Saâd
  ผู้สร้างผลงาน Abdou Djouadi, Mohamed
  ผู้สร้างผลงาน Salah Aida, Mohame
  หัวเรื่อง magnetron sputtering; Al doped ZnO; annealing temperature; properties
  Description The effect of annealing temperature ranged from 200 to 600 °C on the structural, optical and electrical properties of aluminum doped zinc oxide (ZnO:Al) films was reported. The thin films were deposited on glass and silicon substrates by rf magnetron sputtering method using ZnO target (diameter 7,5 cm) mixed with 2 wt.% Al2O3. It has been found that the crystal structure of ZnO:Al films is hexagonal with c-axis preferential orientation. With an increase in the annealing temperature the intrinsic compressive stress was found to decrease, and near stress-free film was obtained after annealing at 600 °C. A resistivity of 1.25x10-3 cm and an average transmittance above 90 % in visible range were obtained for films prepared at room temperature.  
  Publisher Université de Biskra
  Contributor Université de Biskra
  วันที่ 2014-06-12
  ประเภท info:eu-repo/semantics/article
  ประเภท info:eu-repo/semantics/publishedVersion
  ประเภท Article évalué par les pairs
  รูปแบบ application/pdf
  Identifier http://revues.univ-biskra.dz/index.php/cds/article/view/645
  แหล่งข้อมูล Courrier du Savoir; Vol. 18 (2014): Courrier du Savoir
  แหล่งข้อมูล Courrier du Savoir; Vol. 18 (2014): Courrier du Savoir
  แหล่งข้อมูล 1112-3338
  แหล่งข้อมูล 1112-3338
  ภาษา fra
  Relation http://revues.univ-biskra.dz/index.php/cds/article/view/645/601
Repository Information
repositoryName: Courrier du Savoir
baseURL: http://revues.univ-biskra.dz/index.php/cds/oai
adminEmail: courrierdusavoir@univ-biskra.dz
source

 
 
 

 Union Library Management : ULibM
Copyright 2025. All Rights Reserved.